林沐坚的话,一时间吸引了整个会议室的目光。
不管是克雷格、桑德斯,还是帕普肯、周石他们,都不由向著林体坚看了过去,他们都是半导体行业的老炮,但这会都被林沐坚提出来的脑洞,一时间给怔住了。
过去这些年,全球半导体行业都在折腾什么,实际上,就是想方设法的把光刻机的波长缩短。从当初的436纳米光刻机,一路干到了现在最先进的193纳米光刻机,就是为了缩短製程,波长越短,做出来的晶片就越先进。
可以往想到的方法,都是折腾镜头跟光源,包括准分子雷射、电子束投射、离子投射,还有ibm搞出来的x光等方案。
咳,当年林沐坚在ibm时受排挤,不被重用,也跟他不看好x光方案有关,跟ibm支持的方案大相逕庭,能支持他才怪了!
“这,是不是有些冒险了……”
帕普肯第一个反应,不是林沐坚提出来的,引入水作为媒介的方案,是不是有可行性,而是,是不是风险太大了。
毕竟要验证一个方案,到底能不能用,可不仅仅只是说动一下嘴皮子就完事了。
前期需要花费大价钱进行验证,然后製造原型机,再然后进行量產,最后才有可能大卖。
这其中每一步,都不亚於鬼门关上走一遭,而且耗费大笔的经费,最后却可能成了炮灰。
也就是为了验证一个方案,最少花费十亿美元以上!
svg可是刚刚摆脱了破產危机,这时候,让帕普肯冒险,他怕svg刚宣布要研发新方案,下一秒,股价就跌成狗了,他也得被扫地出门。
“林博士的方案,確实是一个新思路!”
负责东芯光刻机项目的周石,却是眼前一亮,现在东芯还在研究最新一代248纳米光刻机,都还没攻克193纳米光刻机,半导体行业的痛楚,东芯光刻机团队都还没感受到。
甚至於,半导体行业受困於193纳米光刻机,对於东芯来说,反而是个机会。
这就相当於跑步,阿斯麦、尼康、佳能、svg、英特尔、amd等等一帮老玩家,比起东芯早跑了很多年。哪怕龟兔赛跑,也要到终点了,但是它们却碰到了一条河流,被河流阻拦了道路,现在想办法渡河。这就给了东芯追赶的机会,东芯能够摸著尼康、阿斯麦它们过河。
它们走过的冤枉路,东芯不需要再进坑,甚至可以走其它的路,157纳米光刻机,既然只是个临时方案,那东芯到时候不用行不行?
反正东芯,又没在157纳米光刻机上投一分钱,又没有沉没成本,根本不怕换了方案之后的损失。再者,周石之前在的45研究所的光刻机团队,为了研发光刻机,是什么法子都试过,所以对於新方案,接受程度更高。
“如果用水作为媒介,那这款使用浸润式方案的光刻机,一旦研发成功,就能把晶片工艺,给推到28纳米!”
周石说出这话时,在场眾人都被嚇了一大跳,如果真的如此,那这套方案,听起来,比起157纳米光刻机方案,都还要诱人的多。
“如果再配上多重曝光、光刻胶、套刻精度、蚀刻工艺等,那是有机会,把晶片工艺推到10纳米以下的‖”
倪广南也开口说道,大家都是行业內的老炮,最基本的手段,都是门清,只需要一个思路,就能延伸下来。
“如果林博士这套方案可行,那真的是,將改变整个半导体行业的困境!”
黄灵仪也向著林沐坚讚嘆道,这种全新的思路方案,不论能不能成,都给了半导体行业一个新的希望。“这不是我的思路!”
林沐坚听到周石、倪广南、黄灵仪等人,將新方案的功劳,推到了他身上,是连连摆手。
“这方案,我只是进行了一些计算,实际上,这是……”
林沐坚看向李东陵,他想说,为光刻机引入水作为媒介,利用水的折射,把193纳米光源变成134纳米,这可是李大善人当年告诉他的。
而林沐坚这几年来,实际上,是对这个方案进行了计算和推演,这套方案,是走了跟日苯乾式光刻机不同的路子,变成了浸润式duv光刻机。
但,如果这方案真成了,这份功劳林沐坚可不敢独揽,尤其是这还是李大善人给他提供的思路。不等林体坚说完,坐在这场学术会议,原本充当小透明的李东陵,这时候开口道。
“林博士这个方案,当年加入东芯时,就跟我提起过。