调度引擎在晶圆进入第一道刻蚀工序前零点五秒做出了第一个调度决策——它將原本按顺序排队的第三批晶圆提前到了第二批之前,原因是第三批晶圆的刻蚀图案密度更低,在当前刻蚀设备的工艺条件下加工时间更短,提前处理可以减少后续缓衝区內的等待队列长度。这个决策如果由人工操作员来做,需要两分钟的经验判断和手动排產调整,而调度引擎用了不到半秒。
三批晶圆跑完三道工序后,中控室屏幕上跳出了试运行数据。晶圆在缓衝区內的平均等待时间比人工排產时减少了百分之二十二,设备综合效率从百分之七十六跳升到了百分之八十一点五——单次测试的数据不具有统计显著性,但老韩盯著屏幕上的那根等待时间曲线看了半分钟,然后转头对梁志远说:“方向对了。”
试运行暴露的问题也在同一天下午浮出水面。调度引擎在下午三点的批次排產中做出了一个让操作员感到困惑的决策——它將一台刚刚完成预防性维护的离子注入机標记为“不可用”,理由是天枢os读取到该设备的真空腔体在维护后重新抽真空的过程中,真空度恢復曲线比標准曲线慢了约百分之八。这个偏差在设备的控制面板上並没有触发任何报警——百分之八在设备供应商设定的报警閾值之內。但调度引擎根据歷史数据学习到的规律是:真空度恢復曲线偏慢百分之八以上的设备,在接下来两小时內出现注入剂量波动的概率会增加三倍。
“这个决策对不对?”操作员问老韩。
老韩让操作员按调度引擎的建议停了那台离子注入机,把批次转到备用设备上。然后他让设备工程团队对那台离子注入机做了一次彻底的真空腔体检漏。检漏结果在四十分钟后出来了——真空腔体的一个密封圈在预防性维护时没有完全復位,存在微小的泄漏,泄漏量只有標准值的百分之六,在任何常规报警系统的閾值之下。
老韩把检漏报告拍在梁志远的桌上。“天枢os的调度引擎不只是在做排產——它是在用全量数据做设备健康的预测性诊断。真空度恢復曲线的百分之八偏移,人的眼睛看不出来,设备自检程序检不出来,但天枢os把过去六个月每一台离子注入机每一次维护后的真空恢復曲线都存下来了,它知道『正常』应该是什么样。”
梁志远把检漏报告转发给郑工,附了一句话:“预测性维护模型——从调度引擎中独立出来,做成天枢os產线管理系统的第二个智能化模块。目標是在设备实际发生故障前四到八小时预警,把非计划停机压缩百分之三十。”
郑工在收到消息后把预测性维护模块的开发任务加入了天枢os的叠代计划,同时在团队內部分享了一个更长远的设想:“產线调度引擎和预测性维护模块是智能化改造的前两步。第三步是把天枢os的调度能力从一座工厂扩展到整个合城產业园——四座追光產线共享同一个智能调度平台,產线之间的设备负载可以动態调配,晶圆可以在不同產线之间根据实时设备状態分流。这个目標实现后,合城產业园的整体设备综合效率有机会从目前加权平均的百分之八十二提升到百分之八十八以上。”
他把这个设想画成了一张拓扑图,图上四座追光產线的设备节点用不同顏色的圆点標註,天枢os的调度引擎位於拓扑图的正中心,用实线连接著每一台设备。图的右上角用虚线標註了两个待接入的节点——恆芯集成的封装试產线和合工热工的热处理设备。郑工在图下写了一行字:“產能运营的智能化改造不止於追光產线。封装环节和热处理环节是天权6號量產的两道外部关口。如果天枢os的调度能力不能延伸到这两道关口,追光產线內部的效率再高也会在產业链交界处失速。”
这个设想和梁志远正在推进的一件事不谋而合。恆芯集成的封装试產线在关闭十一项差距后,硅通孔间距已经稳定推到了六点五微米,仍在向六微米逼近。但恆芯的產线排產目前全靠孟总和几个班组长手动协调,效率低且容错能力差。孟总在封装国產化试点推进会上两次提到希望能接入天枢os的產线管理系统,“哪怕只接入数据採集模块也行”。梁志远把孟总的需求和郑工的设想放在一起,向章宸提交了一份扩容方案:天枢os產线管理系统的下一期扩容覆盖恆芯集成封装试產线和合工热工的热处理產线,將未来科技內部產能运营的智能化改造向產业链上下游延伸。
章宸批准了扩容方案,同时提出一个要求:“天枢os向恆芯和合工热工开放接口时,沿用陈醒在天罡edge全球合作试验决策会上定下的原则——接口按三级安全分级开放,数据採集层一级、工艺参数共享层二级、调度控制层三级。恆芯目前开放到二级,调度控制层暂不接入,等封装试產线的工艺参数完全稳定后再评估。”
梁志远把天枢os扩容方案转给孟总时,附带了一份数据安全协议草案。孟总看完后没有还价,直接在协议上签了字。签字时他说了一句话:“你们来驻厂解决了设备振动,带来了国產固化炉,现在又把產线管理系统接进来。恆芯和未来科技的关係已经不是客户和供应商了——是同一座產线。”
老韩在当天晚上把智能化改造的阶段性成果匯总成一份简报,標题是“合城產能运营智能化改造——第四周进展”。简报的最后一页是一张对比表:追光四期设备综合效率从改造前的百分之七十六提升到试运行阶段的百分之八十一点五,目標值是百分之八十五;非计划停机时间下降了百分之十八,目標值是百分之三十;晶圆缓衝区平均等待时间下降了百分之二十二,目標值是百分之三十五。每一项指標后面的“目標值”一栏里,老韩都標註了一个预计达成时间——八周。
简报发出后,陈醒在合城中央研究院的办公室里给老韩拨了一个电话。通话时间不到三分钟。陈醒只问了一个问题:“天枢os调度引擎在合城四座產线全部上线之后,追光五期的產能规划要不要重新算?”
老韩在电话那头翻开了追光五期的產能规划表。三十五亿投资方案中,產能测算的基准是设备综合效率百分之八十二——这是追光四期改造前的水平。如果智能化改造能在追光五期动工前把设备综合效率拉到百分之八十八以上,同样的设备投资能多產出大约百分之七的有效產能。三十五亿的百分之七,是两亿四千五百万——这笔钱不是省出来的,是从管理效率中挤出来的。
“我明天重算。”老韩说。
陈醒掛了电话,在终端上打开合城產业园的鸟瞰图。四座追光產线的厂房在夜色中亮著灯,每一盏灯背后都是一台正在运转的设备,每一台设备都在向天枢os发送数据。而在这张鸟瞰图的东北角,追光五期的空地还只是一片平整过的黄土。老韩在土地方案上標註了一行字:“预留天枢os调度引擎控制节点光缆沟——与厂房基础同步施工。”
智能化改造的车轮已经从追光四期的中控室滚到了追光五期的地基上。
方敏在第二天一早给梁志远发了一条消息:“造芯学院第二届招生报名人数已破千,其中智能製造与產线自动化方向占了將近四成。合城產能运营智能化改造的经验能不能做成一门课程?让学员在天枢os的模擬环境里练调度,而不是在真实產线上用真金白银试错。”
梁志远回了一条消息,只有六个字:“郑工已经在写了。”