2020年11月19日。

早上6点47分。

苏辰的眼睛在闹钟响起的前13秒自动睁开了。

这是军人留下的习惯——身体比闹钟更准。

他躺在行军床上没有动，盯著天花板看了大约五秒钟。

然后他坐了起来。

今天是11月19日。

250mm drie首测日。

他穿上了白色的洁净服，戴上了防静电手套，走到洗手台前洗了脸。水很凉，凉得他的神经瞬间清醒了。

他看了一眼手机——依然是关机状態。从昨天系统联调完成后他就没有再开过机。

他不需要知道外面在发生什么。

他只需要知道一件事：今天，12.05度。

……

早上7点15分。

实验室的灯亮了。

沈志明第一个到。他比约定时间早了45分钟。

“苏总。“他看了一眼已经站在设备前检查参数的苏辰，轻轻打了个招呼。

“嗯。“苏辰头也没抬，“真空泵昨晚预抽了吗？“

“预抽了。凌晨2点我过来看过一次，真空度稳定在3.1x10?3 pa。“

“好。“

7点28分，李明到了。

7点35分，陈国栋到了。

7点41分，工艺工程师赵琳到了。

7点50分，所有人都到齐了。

一共七个人。

苏辰站在250mm drie设备前，转身面对他的团队。

这台设备是他花了八个月时间设计、採购零件、组装调试的。设备的核心腔体是陈国栋和他的团队用六天六夜赶製出来的。腔体上安装的预补偿件，角度偏差控制在±0.01度，位置偏差控制在±5微米。

校准程序是李明写的。两组交叉验证误差均在±0.005度以內。

等效热弹性近似法的解析预测值——12.05度——是苏辰在今年7月14日，在他的笔记本第5本第116页上写下的。

那个数字在笔记本上安静地等待了四个月零五天。

今天，它將被验证。

“各位，“苏辰的声音平静而清晰，“今天的流程大家已经过了三遍了，我不再重复。只说一点——“

他环顾了一圈，目光从每个人的脸上扫过。

“不管结果是什么，今天你们每一个人都可以为自己骄傲。250mm drie腔体的设计、加工、装配、校准，在全世界范围內没有任何一个团队做过。我们是第一个。“

他停顿了一下。

“好了。开始吧。“

……

早上8点整。

首测正式开始。

第一步：最终真空度確认。

沈志明在真空泵控制面板前读出数据：“真空度2.8x10?3 pa，达標。“

苏辰点头：“进入第二步。“

第二步：sf?/c?f?气体预充。

赵琳操作气体管路阀门，將刻蚀气体sf?和钝化气体c?f?分別充入储气罐。压力传感器的读数在控制面板上实时跳动。

“sf?充气完成，储气压力1.2 bar。c?f?充气完成，储气压力0.8 bar。“

“进入第三步。“

第三步：等离子体点火测试。

这是整个流程中最关键的环节之一——250mm腔体的等离子体均匀性直接决定了刻蚀的质量。如果等离子体在腔体內的分布不均匀，刻蚀出来的侧壁角度就会偏离预测值。

李明在控制台上启动了等离子体电源。

“rf功率600w……等离子体点火成功。“

控制面板上的光谱分析窗口显示出了等离子体的发射光谱——sf?的特徵峰清晰可见，分布均匀。

“等离子体均匀性检测……“李明盯著屏幕上的数据，几秒钟后报出结果，“均匀性偏差1.2%，在可接受范围內。“

苏辰的表情没有变化。1.2%的均匀性偏差对於250mm腔体来说已经非常好了——他们在200mm腔体上的均匀性偏差是0.8%，考虑到尺寸增加了25%，1.2%是一个合理的数字。

“进入第四步。正式刻蚀。“

……

第四步是整个流程中最漫长的环节——bosch工艺循环刻蚀。

sf?刻蚀硅→c?f?钝化侧壁→sf?再刻蚀→c?f?再钝化——这个循环將重复数百次，每次循环大约需要12秒，总耗时预计在3个小时左右。

在这三个小时里，苏辰一直站在控制面板前，没有坐下，没有喝水，没有说一句多余的话。

他盯著屏幕上实时跳动的三组数据——

刻蚀深度。

侧壁角度。

腔体温度。

前两组数据在稳步推进，一切正常。

但第三组数据——腔体温度——在刻蚀进行到第47分钟的时候，开始出现了苏辰预料之中的变化。

“温度偏移开始了。“苏辰的声音很轻，但实验室里所有人都听到了。

沈志明立刻看向温度监控面板——腔体內壁的温度从初始的23.0c开始缓慢上升。

23.2c……23.5c……23.8c……

这就是热膨胀效应。

在200mm腔体上，这个效应导致了侧壁角度偏离预期8.71度——当时所有人都以为刻蚀失败了，直到苏辰拿出了等效热弹性近似法的推导，证明8.71度不是失败，而是热膨胀效应的必然结果。

现在，在250mm腔体上，同样的效应正在发生——只是程度更大。

“预补偿系统准备。“苏辰说。

“预补偿系统就绪。“赵琳回答。

“等刻蚀深度达到180微米时启动。“

“明白。“

时间一分一秒地过去。

腔体温度继续上升：24.0c……24.3c……24.7c……

刻蚀深度稳步推进：50微米……80微米……120微米……150微米……

到了上午10点17分，刻蚀深度达到了180微米。

“启动预补偿系统。“苏辰的声音依然平静。

赵琳按下了预补偿系统的启动按钮。

预补偿件开始工作——通过精確控制腔体壁上预埋的热电偶和微调机构，对热膨胀效应引起的形变进行实时补偿。

这套预补偿系统的设计原理，正是基於苏辰在笔记本第5本第112-116页推导出的等效热弹性近似法。

补偿方向：径向。

补偿量：根据解析解实时计算。

目標侧壁角度：90度（在250mm尺寸下，热膨胀效应会导致侧壁角度偏离约12.05度——预补偿系统的目標就是把这个偏差补回来）。

“预补偿系统运行正常。“赵琳报出了数据，“补偿量与解析预测值的偏差在±0.3%以內。“

苏辰微微点头。

但他知道，预补偿系统能不能真正起作用，要等到刻蚀结束后才能知道。

现在能做的只有一件事——等。

……

与此同时。

深圳，南山区，鸿远飞鸟总部。

林薇坐在办公室里，面前的电脑屏幕上没有打开任何网页。

她盯著手机看了五分钟了——苏辰的微信头像是灰色的，显示“对方已关机“。

她知道苏辰在首测。

她也知道自己什么都帮不上。

前天的直播，她能做的已经做了。昨天博世15亿的消息，她已经看了一整天。今天——

今天只能等。

她的手机上有317条未读消息——投资人、媒体、行业协会、飞鸟联盟成员、甚至几个中央部委的处级干部。所有人都在问同一件事：

“250mm验证什么时候出结果？“

林薇没有回覆任何一条。

因为她不知道答案。

她只知道苏辰说过的那句话——“你去替我说话，我留下来替你做事。“

所以她等。

……

上午11点整。

实验室。

刻蚀已经进行了三个小时。

腔体温度稳定在26.3c，刻蚀深度达到了目標值的92%。