一切正常。

但苏辰的眉头在过去十分钟里微微皱了一下——不是因为数据出了问题，而是因为他注意到预补偿系统的补偿量在最后阶段出现了一个微小的波动。

波动幅度：±0.08%。

在正常范围內，但比之前的±0.3%更大了。

“赵琳。“

“在。“

“热电偶7號的读数。“

赵琳查看了7號热电偶的数据：“26.31c……26.33c……26.29c……读数有轻微波动，但在±0.05c以內。“

苏辰沉默了几秒钟。

“继续监控。如果波动超过±0.1c，立刻通知我。“

“明白。“

波动没有扩大。

上午11点37分，最后一个bosch循环完成。

“刻蚀完成。“李明的声音从控制台传来，带著一丝难以克制的颤抖，“目標深度达標。正在降温。“

实验室里没有人说话。

没有人欢呼。

因为所有人都知道——刻蚀完成不代表成功。真正决定成败的，是接下来的测量环节。

……

降温用了40分钟。

中午12点17分，腔体温度降到了室温。

苏辰亲自操作了取样程序——將刻蚀完成的250mm硅片从腔体中取出，放置在测量平台上。

这片硅片是全世界第一块在250mm尺寸drie设备上完成bosch工艺刻蚀的硅片。

它看起来和普通的硅片没有什么区別——直径250毫米，厚度约0.7毫米，表面在无尘灯光下折射出淡淡的彩虹色光泽。

但在它的表面之下，是数百个深度超过300微米的微型腔体——每一个腔体的侧壁角度，都將决定苏辰过去四个月的推导是对还是错。

苏辰把硅片固定在扫描电镜的样品台上。

“开始测量。“

扫描电镜的探针开始工作，逐个扫描硅片表面的微型腔体。数据在屏幕上实时生成——

侧壁角度的测量值一个一个地跳出来。

实验室里安静得只能听到扫描电镜的嗡嗡声和所有人的呼吸声。

苏辰盯著屏幕。

沈志明盯著屏幕。

李明盯著屏幕。

陈国栋盯著屏幕。

赵琳盯著屏幕。

所有人都盯著屏幕。

三分钟后，第一组测量数据出来了。

屏幕上显示著三行数字——

仿真组a预测值：11.98度

仿真组b预测值：12.11度

等效热弹性近似法解析预测值：12.05度

然后，最下面一行——

实测值：12.03度

实验室里依然没有人说话。

苏辰看著那个数字——12.03度。

与等效热弹性近似法的解析预测值12.05度相比，偏差0.02度。

与200mm腔体的验证实验一样——偏差0.02度。

这个偏差在深宽比小於0.3时的理论误差范围（0.5%）之內。

12.05度的0.5%是0.06度。

实际偏差0.02度，远小於理论误差上限。

苏辰的手指在键盘上停了两秒钟。

然后他说了一句话——

“再测一次。“

……

没有人反对。

第二组测量在十五分钟后完成。

实测值：12.04度

偏差0.01度。

苏辰看著屏幕上的数字，沉默了大约五秒钟。

然后他转过身，面对他的团队。

他的表情没有太大的变化——没有狂喜，没有激动，没有热泪盈眶。

只是嘴角微微上扬了一点点。

“验证通过。“

两个字。

实验室里沉默了一秒。

然后——

“好！！！“

沈志明第一个喊了出来。他的声音在实验室的金属墙壁之间迴荡，带著一种压抑了太久之后终於释放的力量。

“成了！成了！！“李明的声音紧隨其后。

陈国栋没有喊。他只是靠在了身后的设备架上，闭上了眼睛，深深地吸了一口气——然后呼了出来。

赵琳的眼眶红了。

苏辰站在原地，看著他的团队——这些跟著他没日没夜工作了几个月的人——露出了一个笑容。

不是那种爽朗的大笑。

是一种安静的、確定的笑。

就像三年前在城中村的出租屋里，第一次打开那块280块钱的开发板时心里涌起的那种感觉。

確定。

“志明。“苏辰说。

“在！“沈志明的眼睛里还闪著光。

“通知林总。“

“好嘞！“沈志明掏出手机，拨通了林薇的號码。

电话响了一声就被接了。

“志明？“林薇的声音带著一丝克制不住的颤抖——她显然一直在等这个电话。

“林总——“沈志明的声音也有些发抖，“12.03度。偏差0.02。第二次测量12.04。验证通过。“

电话那头沉默了三秒钟。

然后林薇说了一个字：

“好。“

然后电话掛了。

沈志明看著掛断的手机屏幕，愣了一下——他以为林薇至少会多说几句话。

但他不知道的是——

在深圳南山区鸿远飞鸟总部的办公室里，林薇掛断电话后，一个人坐在椅子上，双手捂住了脸。

她没有哭。

但她的肩膀在轻微地颤抖。

良久，她放下了手。

她的眼睛是红的，但眼角是乾的。

她拿起手机，给苏辰发了一条微信——虽然她知道苏辰现在是关机的：

“12.03。我知道了。“

停了几秒，她又加了一句：

“该请全公司吃饭了。“

然后她站起身，走到窗前，深吸了一口气。

窗外的深圳，阳光正好。

她拿起电话，拨通了公关部的號码。

“小周，准备一下。半小时后发布官方声明。“

“內容呢？“

“250mm drie首测完成。侧壁角度实测值12.03度，与等效热弹性近似法解析预测值12.05度偏差0.02度，验证成功。附上第三方检测预约確认——中航工业611所检测中心，三天內出具正式报告。“

“明白。“

“还有一句——“

林薇想了几秒钟。

“加上一句：技术是唯一不需要解释的语言。“

“……收到。“